1、光刻工艺 (4) 掩膜板 /光罩xixi78 发表于 : 2008-5-06 19:56 来源 : 半导体技术天地掩膜板 / 光罩( Photo Mask/Reticle )硅片上的电路元件图形都来自于版图,因此掩膜板的质量在光刻工艺中的扮演着非常重要的角色。1 、掩膜板的分类:光掩膜板( Photo Mask )包含了整个硅片的芯片图形特征,进行1:1 图形...
1) 绘制生成设备可以识别的光刻板版图文件(GDS格式) 2) 使用无掩模光刻机读取版图文件,对带胶的空白掩膜版进行非接触式曝光(曝光波长405nm),照射光刻板上所需图形区域,使该区域的光刻胶(通常为正胶)发生光化学反应 3) 经过显影、定影后,曝光区域的光刻胶溶解脱落,暴露出下面的铬层 4) 使用铬刻蚀液进行湿法刻蚀...
光刻板制作工艺.doc 关闭预览 想预览更多内容,点击免费在线预览全文 免费在线预览全文 光刻工艺(4)---掩膜板/光罩 xixi78 发表于: 2008-5-06 19:56 来源: HYPERLINK / 半导体技术天地 掩膜板/光罩(Photo Mask/Reticle) ? ? 硅片上的电路元件图形都来自于版图,因此掩膜板的质量在光刻工艺中的扮演着非常重要的...
其中集成式光刻板制作方法,包括以下步骤:1)在集成式光刻板上彼此垂直设置的两条分割线,将光刻板划分成四个象限,并将两条分割线分别作为横坐标线和纵坐标,形成坐标系;2)在任一象限中以坐标系的零点为基准,向横坐标线和纵坐标方向延伸形成包含至少一个晶粒模板的方形标准单元区域;3)在四个象限内,连续设置多个与标准...
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光刻板间装离子棒是一种重要的微纳加工工具,主要用于制备微小器件和微结构。它具有高分辨率、高精度、高效率等优点,在半导体、光电、生物医学等领域有着广泛的应用。 总之,百级黄光区光刻板间装离子棒的制作方法和应用领域是一个非常重要的技术领域,需要技术人员具...
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按照上述方案在平边对应的光刻板区域制作标尺图形。光刻时,通过精确地控制晶圆平边与标尺图形中对准基线的距离,既可以实现左右两侧平行对准,也可以通过计算将偏转角度转化成距离,实现精确的平边补偿对准。方案如下: 应用上述光刻板进行晶圆平边对准的方法,包括以下步骤: (1)调整光刻机左、右两侧的显微镜,使左、右两侧...
母板1,用于供操作者进行把持,以将光刻板安装到光刻机上; 子板2的底面21与母板1连接,子板2的顶面22设有光刻图形,子板2的厚度高于芯片4表面的边角堆胶3的高度; 通过母板1和子板2使光线垂直透过光刻板。 也就是说,本实用新型实施例通过将光刻图形设置在子板2上,通过子板2的厚度来消除边角堆胶3对光刻的影响...